| 故障现象 | 可能的原因 | 解决方法 |
| 尺寸精度差 | Q1.校正表不准
Q2.激光参数设置不当 | A1.重新校正
A2.修改参数 |
| 扫描中心有突然偏移 | Q1.振镜固定螺钉松动 | A1.拧紧固定螺钉 |
| 有扫描但烧不上 | Q1.激光焦点未聚在焦平面上 | A1.检查动态聚焦起始位置，调整聚集点 |
| 扫描出现紊乱 | Q1.有高频干扰
Q2.扫描参数（速度参数）设置不当
Q3.图形文件错误
Q4.有计算机病毒 | A1.除去干扰源
A2.调整参数
A3.检查图形文件
A4.杀毒 |
| 扫描器有异响 | Q1.振镜自激 | A1.调整振镜驱动板 |
| 扫描器不工作;有一个轴不工作 | Q1.电源未供电
Q2.振镜驱动板保险丝断 | A1.检查±15V电源（见图5）及保险丝F6见图4）
A2.检查驱动板上保险丝 |
| 系统提示为发现RTC3卡 | Q1.RTC3卡与主板接触不良 | A1.从新插拔 |
| 系统提示扫描器温度状态出错 | Q1.扫描头预热还未结束
Q2.扫描头冷却水管不畅
Q3.通信故障
Q4.扫描头故障 | A1.等待
A2.检查冷却水管及冷却机
A3.检查连线与接地
A4.返厂检修 |